探頭傳感器是一種非接觸式的線性化測量工具。具有長期工作可靠性好、測量范圍寬、靈敏度高、分辨率高、響應速度快、抗干擾力強、不受油污等介質(zhì)的影響等優(yōu)點，因此廣泛應用于電力、石油、化工、冶金等行業(yè)對汽輪機、水輪機、鼓風機、壓縮機、齒輪箱、大型冷卻泵等大型旋轉(zhuǎn)機械的動態(tài)和靜態(tài)非接觸式位移測量。 
列如：徑向和軸向的軸位移、脹差、軸偏心、軸振動、鍵相、轉(zhuǎn)速為滿足各種測量方案的需要，是由DO型前置放大器和電渦流探頭組合構(gòu)成，它是一種趨近式傳感系統(tǒng)。由于其長期工作可靠性好，靈敏度高，抗干擾能力強，采用非接觸測量，響應速度快，耐高溫，能在油、汽、水等惡劣環(huán)境下長期連續(xù)工作,檢測不受油污、蒸汽等介質(zhì)的影響，已廣泛應用于電力、石化、冶金、鋼鐵、航天等大中型企業(yè)，對各種旋轉(zhuǎn)機械的軸位移、振動、轉(zhuǎn)速、脹差、偏心、油膜厚度等進行在線監(jiān)測和安全保護，為精密診斷系統(tǒng)提供了全息動態(tài)特性，有效地對設備進行保護。電渦流位移傳感器系統(tǒng)主要包括探頭、延伸電纜可選、前置放大器和附件。線性范圍寬、動態(tài)響應好、抗干擾能力強。 

主要用來測量探頭與被測物體之間靜態(tài)和動態(tài)距離，被測物體一般為鐵氧體，探頭的交變電磁場被鐵氧體所吸收，傳感器的電子電路感應并處理該變化量，由此得到被測物體的位移量 
傳感器的應用 
徑向振動測量：它可指出軸承的工作狀況，并可測出諸如轉(zhuǎn)子的不平衡，不對中以及軸裂紋等機械故障 
軸向位置測量：它可指示止推軸承的磨損或潛在的軸承失效的可能性 
軸在軸承內(nèi)的平均徑向位置：它可用來決定方位角，它也是轉(zhuǎn)速是否穩(wěn)定，軸是否對中的一種指示。 
偏心度：對于大小透平機械，在啟動時，需要測量軸的彎曲，即偏心度。 
鍵相器信號：是為測量軸的旋轉(zhuǎn)速度以及相位角之用。 

探頭、(延伸電纜)、前置器以及被測體構(gòu)成基本工作系統(tǒng)。前置器中高頻振蕩電流通過延伸電纜流入探頭線圈，在探頭頭部的線圈中產(chǎn)生交變的磁場。如果在這一交變磁場的有效范圍內(nèi)沒有金屬材料靠近，則這一磁場能量會全部損失；當有被測金屬體靠近這一磁場，則在此金屬表面產(chǎn)生感應電流，電磁學上稱之為電渦流。與此同時該電渦流場也產(chǎn)生一個方向與頭部線圈方向相反的交變磁場，由于其反作用，使頭部線圈高頻電流的幅度和相位得到改變（線圈的有效阻抗），這一變化與金屬體磁導率、電導率、線圈的幾何形狀、幾何尺寸、電流頻率以及頭部線圈到金屬導體表面的距離等參數(shù)有關(guān)。通常假定金屬導體材質(zhì)均勻且性能是線性和各項同性，則線圈和金屬導體系統(tǒng)的物理性質(zhì)可由金屬導體的電導率б、磁導率ξ、尺寸因子τ、頭部體線圈與金屬導體表面的距離D、電流強度I和頻率ω參數(shù)來描述。則線圈特征阻抗可用Z=F(τ, ξ, б, D, I, ω)函數(shù)來表示。通常我們能做到控制τ, ξ, б, I, ω這幾個參數(shù)在一定范圍內(nèi)不變，則線圈的特征阻抗Z就成為距離D的單值函數(shù)，雖然它整個函數(shù)是一非線性的，其函數(shù)特征為“S”型曲線，但可以選取它近似為線性的一段。于此，通過前置器電子線路的處理，將線圈阻抗Z的變化，即頭部體線圈與金屬導體的距離D的變化轉(zhuǎn)化成電壓或電流的變化。輸出信號的大小隨探頭到被測體表面之間的間距而變化，電渦流傳感器就是根據(jù)這一原理實現(xiàn)對金屬物體的位移、振動等參數(shù)的測量。 

傳感器系統(tǒng)廣泛應用于電力、石油、化工、冶金等行業(yè)和一些科研單位。對汽輪機、水輪機、鼓風機、壓縮機、空分機、齒輪箱、大型冷卻泵等大型旋轉(zhuǎn)機械軸的徑向振動、軸向位移、鍵相器、軸轉(zhuǎn)速、脹差、偏心、以及轉(zhuǎn)子動力學研究和零件尺寸檢驗等進行在線測量和保護。 
軸向位移測量 
對于許多旋轉(zhuǎn)機械，包括蒸汽輪機、燃汽輪機、水輪機、離心式和軸流式壓縮機、離心泵等，軸向位移是一個十分重要的信號，過大的軸向位移將會引起過大的機構(gòu)損壞。軸向位移的測量，可以指示旋轉(zhuǎn)部件與固定部件之間的軸向間隙或相對瞬時的位移變化，用以防止機器的破壞。軸向位移是指機器內(nèi)部轉(zhuǎn)子沿軸心方向，相對于止推軸承二者之間的間隙而言。有些機械故障，也可通過軸向位移的探測，進行判別： 
● 止推軸承的磨損與失效  ● 平衡活塞的磨損與失效  
● 止推法蘭的松動        ● 聯(lián)軸節(jié)的鎖住等。 
    軸向位移（軸向間隙）的測量，經(jīng)常與軸向振動弄混。軸向振動是指傳感器探頭表面與被測體，沿軸向之間距離的快速變動，這是一種軸的振動，用峰峰值表示。它與平均間隙無關(guān)。有些故障可以導致軸向振動。例如壓縮機的踹振和不對中即是。 
振動測量 
測量徑向振動，可以由它看到軸承的工作狀態(tài)，還可以看到轉(zhuǎn)子的不平衡，不對中等機械故障?？梢蕴峁τ谙铝嘘P(guān)鍵或基礎機械進行機械狀態(tài)監(jiān)測所需要的信息： 
·工業(yè)透平，蒸汽/燃汽   ·壓縮機，空氣/特殊用途氣體，徑向/軸向 
·膨脹機  ·動力發(fā)電透平，蒸汽/燃汽/水利 
·電動馬達 ·發(fā)電機    
·勵磁機  ·齒輪箱 
·泵  ·風扇 
·鼓風機  ·往復式機械 
振動測量同樣可以用于對一般性的小型機械進行連續(xù)監(jiān)測?？蔀槿缦赂鞣N機械故障的早期判別提供了重要信息。 
·軸的同步振動     ·油膜失穩(wěn) 
·轉(zhuǎn)子摩擦            ·部件松動 
·軸承套筒松動     ·壓縮機踹振 
·滾動部件軸承失效   ·徑向預載，內(nèi)部/外部包括不對中  
·軸承巴氏合金磨損   ·軸承間隙過大，徑向/軸向 
·平衡（阻氣）活塞磨損/失效   ·聯(lián)軸器“鎖死” 
·軸彎曲    ·軸裂紋 
·電動馬達空氣間隙不勻 ·齒輪咬合問題  
·透平葉片通道共振        ·葉輪通過現(xiàn)象 
偏心測量 
偏心是在低轉(zhuǎn)速的情況下，對軸彎曲程度的測量，這種彎曲可由下列情況引起： 
·原有的機械彎曲  ·臨時溫升導致的彎曲 ·在靜止狀態(tài)下，必然有些向下彎曲，有時也叫重力彎曲。 
偏心的測量，對于評價旋轉(zhuǎn)機械全面的機械狀態(tài)，是非常重要的。特別是對于裝有透平監(jiān)測儀表系統(tǒng)（TSI）的汽輪機，在啟動或停機過程中，偏心測量已成為不可少的測量項目。它使你能看到由于受熱或重力所引起的軸彎曲的幅度。轉(zhuǎn)子的偏心位置，也叫軸的徑向位置，它經(jīng)常用來指示軸承的磨損，以及加載荷的大小。如由不對中導致的那種情況，它同時也用來決定軸的方位角，方位角可以說明轉(zhuǎn)子是否穩(wěn)定。 
脹差測量 
對于汽輪發(fā)電機組來說，在其啟動和停機時，由于金屬材料的不同，熱膨脹系數(shù)的不同，以及散熱的不同，軸的熱膨脹可能超過殼體膨脹；有可能導致透平機的旋轉(zhuǎn)部件和靜止部件（如機殼、噴嘴、臺座等）的相互接觸，導致機器的破壞。因此脹差的測量是非常重要的。 
轉(zhuǎn)速測量 
對于所有旋轉(zhuǎn)機械而言，都需要監(jiān)測旋轉(zhuǎn)機械軸的轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)速是衡量機器正常運轉(zhuǎn)的一個重要指標。而電渦流傳感器測量轉(zhuǎn)速的*性是其它任何傳感器測量沒法比的，它既能響應零轉(zhuǎn)速，也能響應高轉(zhuǎn)速，抗干擾性能也非常強。 
滾動軸承、電機換向器整流片動態(tài)監(jiān)控 
    對使用滾動軸承的機器預測性維修很重要。探頭安裝在軸承外殼中，以便觀察軸承外環(huán)。由于滾動元件在軸承旋轉(zhuǎn)時，滾動元件與軸承有缺陷的地方相碰撞時，外環(huán)會產(chǎn)生微小變形。監(jiān)測系統(tǒng)可以監(jiān)測到這種變形信號。當信號變形時意味著發(fā)生了軸承故障，如滾動元件的裂紋缺陷或者軸承環(huán)的缺陷等。還可以測量軸承內(nèi)環(huán)運行狀態(tài)，經(jīng)過運算可以測量軸承打滑度。
其工作過程是：當被測金屬與探頭之間的距離發(fā)生變化時，探頭中線圈的Q值也發(fā)生變化，Q值的變化引起振蕩電壓幅度的變化，而這個隨距離變化的振蕩電壓經(jīng)過檢波、濾波、線性補償、放大歸一處理轉(zhuǎn)化成電壓（電流）變化，終完成機械位移(間隙)轉(zhuǎn)換成電壓（電流）。由上所述，電渦流傳感器工作系統(tǒng)中被測體可看作傳感器系統(tǒng)的一半，即一個電渦流位移傳感器的性能與被測體有關(guān)。  

應用領域：
旋轉(zhuǎn)機械軸系的位移、振動、轉(zhuǎn)速、膨脹、偏心、油膜厚度的在線監(jiān)測，產(chǎn)品的機械尺寸、厚度、表面不平度檢測。
工業(yè)過程自動化的限位、計數(shù)及其它精密控制，可在石化、冶金、鋼鐵、電力、航天、制藥、機械制造等行業(yè)廣泛應用。
●典型應用示意圖 1、相對振動測量

測量徑向振動，可以由它分析軸承的工作狀態(tài)，還可以看到分析轉(zhuǎn)子的不平衡，不對中等機械故障。電渦流傳感器系統(tǒng)可以提供對于下列關(guān)鍵或是基礎機械狀態(tài)監(jiān)測所需要的信息：
●工業(yè)透平，蒸汽/燃氣●壓縮機，徑向/軸向 ●膨脹機●動力發(fā)電透平，蒸汽/燃氣/水利●發(fā)動馬達●發(fā)動機●勵磁機●齒輪箱●泵 （風箱 ●鼓風機 ●往復式機械
（1）相對振動測量（小型機械）。
振動測量同樣可以用于對一般性的小型機械進行連續(xù)監(jiān)測。電渦流傳感器系統(tǒng)可為如下各種機械故障的早期判別提供重要信息：
●軸的同步振動●油膜失穩(wěn)●轉(zhuǎn)子摩擦 ●部件松動●軸承套筒松動●壓縮機踹振●滾動部件軸承失效 ●徑向預載，內(nèi)部/外部包括不對中●軸承巴氏合金磨損● 軸承間隙過大，徑向/軸向●平衡（阻氣）活塞●聯(lián)軸器“鎖死”磨損/失效●軸裂紋●軸彎曲●齒輪咬合問題● 電動馬達空氣間隙不勻●葉輪通過現(xiàn)象● 透平葉片通道共振
（2）偏心測量
偏心是在低轉(zhuǎn)速的情況下，電渦流傳感器系統(tǒng)可對軸彎曲的程度進行測量，這些彎曲可由下列情況引起：
●原有的機械彎曲●臨時溫升導致的彎曲●重力彎曲●外力造成的彎曲。
偏心的測量，對于評價旋轉(zhuǎn)機械全面的機械狀態(tài)，是非常重要的。特別是對于裝有透平監(jiān)測儀表系統(tǒng)（TSI）的汽輪機，在啟動或停機過程中，偏心測量已成為不可少的測量項目。它使你能看到由于受熱或重力所引起的軸彎曲的幅度。轉(zhuǎn)子的偏心位置，也叫軸的徑向位置，它經(jīng)常用來指示軸承的磨損，以及加載荷的大小。如由不對中導致的那種情況，它同時也用來決定軸的方位角，方位角可以說明轉(zhuǎn)子是否穩(wěn)定。
（3）脹差測量
對于汽輪發(fā)電機組來說，在其啟動和停機時，由于金屬材料的不同，熱膨脹系數(shù)的不同，以及散熱的不同，軸的熱膨脹可能超過殼體膨脹;有可能導致透平機的旋轉(zhuǎn)部件和靜止部件（如機殼、噴嘴、臺座等）的相互接觸，導致機器的破壞。因此脹差的測量是非常重要的。
2、轉(zhuǎn)速測量
對于所有旋轉(zhuǎn)機械而言，都需要監(jiān)測旋轉(zhuǎn)機械軸的轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)速是衡量機器正常運轉(zhuǎn)的一個重要指標。旋轉(zhuǎn)測量通常有以下幾種傳感器可選：電渦流轉(zhuǎn)速傳感器、無源磁電轉(zhuǎn)速傳感器、有源磁電轉(zhuǎn)速傳感器等。具有需要選擇那類傳感器，則要根據(jù)轉(zhuǎn)速測量的要求轉(zhuǎn)速等，轉(zhuǎn)速發(fā)生裝置有以下幾種：用標準的漸開的線齒數(shù)（M1～M5）作轉(zhuǎn)速發(fā)生信號，在轉(zhuǎn)軸上開一鍵槽、在轉(zhuǎn)軸在轉(zhuǎn)軸上開孔眼、在軸轉(zhuǎn)上凸鍵等轉(zhuǎn)速發(fā)生信號裝置。
無源磁電式傳感器是針對測齒輪而設計的發(fā)電型傳感器（無源），不適合測零轉(zhuǎn)速和較低轉(zhuǎn)速，因低頻時，幅值信號小，抗干擾能力差，它不需要供電。有源磁電式傳感器采用了電源供電，輸出波形為矩形波，具有負載驅(qū)動能力，適合測量 0.03赫茲以上轉(zhuǎn)速信號。